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真空泵的范围要求及工作压强

真空泵在进行使用的过程中，其工作强度应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要**真空设备真空度半个到一个数量级。

正确的选择其真空泵的工作点，每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，小型真空泵价格，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三较型溅射离子泵，(或二较型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

真空泵进口调节阀的作用

真空泵一般是用来抽真空的，但是并不是所有的场合均要求真空度越低越好，而有的场合是要求控制在某一需要的真空度范围内，或者是真空泵的泵腔内压力过低，泵腔内会发生严重的汽蚀，真空泵报价，造成泵的振动、噪声过大而影响使用的时候，可以在泵的吸气区域增加一个真空调节阀，在上述情况发生时，可以适当打开调节阀以缓和振动和噪声的影响，或者是降低真空度，达到需要的真空度要求。这是为了更加合理地应用真空泵的一种方法。

真空泵的正确安装方法

1、关于有冷却水的真空泵，按规则接通冷却水。

2、真空泵通电试作业时，须取下电机皮带，确认真空泵转向符合规则方向方可投入使用，以防真空泵回转喷油。(转向按防护罩指示方向)

3、当真空泵排出气体影响作业环境时，真空泵，可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。

4、如真空泵口装置电磁阀时，阀与真空泵应一起动作。

5、按电动机标牌规则衔接电源，并接地线和装置适宜标准的熔断器及热继电器。

6、在衔接管路中，用户可在真空泵进气口上方装置阀门及真空计，随时可查看真空泵的极限压力。

7、真空泵与体系的衔接管道应密封牢靠，水环真空泵，对小真空泵可选用金属管路衔接密封垫选用耐油橡胶，对小真空泵可选用真空胶管衔接，管道管径不得小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。(焊接管路时应铲除管道中焊渣，禁止焊渣进入真空泵腔。)

8、真空泵应装置在地上结实巩固的场所，周围应留有充沛的地步，便于查看、维护、保养。

9、真空泵底座下应坚持地基水平，底座四角处主张垫减震橡皮或用螺栓浇制装置，保证真空泵作业平稳，振荡小。